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上海艾斯达电子
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产品信息
日本理研GD-70D半导体气体检测仪用途
用于半导体-液晶工厂连续气体检；
整洁房间内的环境检测；
日本理研GD-70D半导体气体检测仪特点：
不再依赖气体检测原理、完全通用化
多功能的传感器单元
采用各种气体检测原理通用接口
采用醒目的大型字符LCD
强化故障自检功能
无需工具一键式更换
符合国际规格要求
日本理研GD-70D半导体气体检测仪规格
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检测气体 |
半导体材料气体 |
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检测原理 |
定电位电解式 |
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报警种类 |
气体警报（2阶段报警） 故障警报 |
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报警动作 |
LED灯、接点输出 |
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电源 |
DC24V |
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外型尺寸、重量 |
约70(W)*120(H)*150mm(D) |
日本理研GD-70D半导体气体检测仪实物展示：
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显示内容 |
气体浓度、流量大小、通讯状态、热分解器状态、检测气体名称、故障代码、故障内容 |
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自 检 |
系统故障、传感器故障、流量故障、通讯故障 |
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数据 |
事件历史、报警历史、校正历史、报警趋势曲线（一段报警前后180秒） |
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工作环境 |
电源DC24V±10%；0~40℃，30~70%RH无凝结 |
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尺寸重量 |
70（W）×120（H）×150（D）mm，0.9kg |
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优势特点 |
对应所有检测方式的公共平台（主机单元、传感器单元、泵单元）；通用主机单元（兼容所有传感器类型）；多功能传感器单元（新型智能传感器）；主机单元内部无气管/泵单元无线圈；在前面开盖拆装/无需工具/易于更换传感器单元和泵单元；不同通讯方式可选（4-20mA，NT，PoE）；现有单元升级简单；的维护成本；环保，符合国际标准。 |
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典型应用 |
半导体、液晶、太阳能电池等微电子制造工厂，特种气体生产、运输、储存、使用等场合 |
GD-70D传感器类型有ESU（定电位电解式）、SGU（半导体式）、SSU（热分解粒子式）、OSU（原电池式）、NCU（新陶瓷式），检测气体及量程如下：
OSU：O2，0~25%vol
NCU：CH4、H2、i-C4H10，0~100%LEL
SSU：TEOS、TMS、TRIMOS，0~15ppm
SGU：H2，0~500/1000/2000ppm；CH4、C3H8，0~2000/5000ppm；CH3OH，0~1000/2000ppm；C2H2Cl2，0~600ppm；CH2Cl2、CH3CHOHCH3、R-32、R-41、COS，0~2000ppm
ESU：NH3，0~75ppm；AsH3，0~0.2ppm；Br2，0~1ppm；CO，0~75/150/300ppm；Cl2，0~1.5/3ppm；ClF3，0~0.6ppm；B2H6，0~0.3ppm；Si2H6，0~15pp