NanoCalc 反射膜厚测量系统

	薄膜的光学特性主要有反射和干涉。NanoCalc薄膜反射测量系统可以用来进行10nm -250um的膜厚分析测量，对单层膜的分辨率为0.1nm。根据测量软件的不同，在1秒钟内可以分析单层或多达到10层的膜厚。

产品特点

可分析单层或多层薄膜；
分辨率达0.1nm；
适合于在线监测；

使用原理

常用的两种测量薄膜的特性的方法为光学反射和投射测量、椭圆光度法测量。NanoCalc利用反射原理，通过测量宽光谱范围内的反射率曲线来进行膜厚测量。

查找n和k值可以进行多达十层的薄膜测量，薄膜和基体材质可以是金属、电介质、无定形材料或硅晶等。NanoCalc软件包含了大多数材料的n和k值数据库，用户也可以自己添加和编辑。

查找n和k值

可以进行多达十层的薄膜测量，薄膜和基体材质可以是金属、电介质、无定形材料或硅晶等。NanoCalc软件包含了大多数材料的n和k值数据库，用户也可以自己添加和编辑。

应用

NanoCalc薄膜反射材料系统适合于在线膜厚测量，包括氧化层、中氮化硅薄膜、感光胶片及其它类型的薄膜。NanoCalc也可测量在钢、铝、铜、陶瓷、塑料等物质上的抗反射涂层、抗磨涂层等。

NanoCalc Systems Available

NANOCALC-2000-UV-VIS-NIR
Wavelength:	250-1100 nm
Thickness:	10 nm-70 um
Light source:	Deuterium and Tungsten Halogen

NANOCALC-2000-UV-VIS
Wavelength:	250-850 nm
Thickness:	10 nm-20 um
Light source:	Deuterium and Tungsten Halogen

NANOCALC-2000-VIS-NIR
Wavelength:	400-1100 nm
Thickness:	20 nm-10 um (optional 1 um-250 um)
Light source:	Tungsten Halogen

NANOCALC-2000-VIS
Wavelength:	400-850 nm
Thickness:	50 nm-20 um
Light source:	Tungsten Halogen

NANOCALC-2000-NIR
Wavelength:	650-1100 nm
Thickness:	70 nm-70 um
Light source:	Tungsten Halogen

NANOCALC-2000-NIR-HR
Wavelength:	650-1100 nm
Thickness:	70 nm-70 um
Light source:	Tungsten Halogen

NANOCALC-2000-512-NIR
Wavelength:	900-1700 nm
Thickness:	50 nm-200 um
Light source:	High-power Tungsten Halogen

For Reflectometry applications, the following items are required:

NC-2UV-VIS100-2	Bifurcated UV fiber 400 um x 2m 2x SMA connectors Flexible metal jacketing
NC-STATE	Single point reflection measurement for non transparent samples
Step-Wafer	5 Steps 0-500 mm, calibrated 4"

If using a microscope, the following items are also needed:

NC-7UV-VIS200-2	Reflection probe for application microscopy with MFA-C-Mount
Step-Wafer	5 Steps 0-500 mm, calibrated 4"

NanoCalc Specifications

Angle of incidence:	90°
Number of layers:	3 or fewer
Reference measurement needed:	Yes (bare substrate)
Transparent materials:	Yes
Transmission mode:	Yes
Rough materials:	Yes
Measurement speed:	100 milliseconds to 1 second
On-line possibilities:	Yes
Mechanical tolerance (height):	With new reference or collimation (74-UV)
Mechanical tolerance (angle):	Yes, with new reference
Microspot option:	Yes, with microscope
Vision option:	Yes, with microscope
Mapping option:	6" and 12" XYZ mapping tables
Vacuum possibilities:	Yes

上海艾斯达电子

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产品信息

NanoCalc Systems Available

For Reflectometry applications, the following items are required:

If using a microscope, the following items are also needed:

NanoCalc Specifications