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产品分类
产品信息
产品特点
- 只要更换传感器单元就可以检测对象气体
- 用盒式传感器单元无需进行检测器校正
- 大幅度削减成本和维护时间
技术参数
型号
|
XPS-7
|
对象气体
|
半导体材料气体
|
检测原理
|
定电位电解式 |
取样方式
|
自动吸引式
|
测量范围
|
根据规格 |
分辨率
|
满量程的百分之一 |
指示精度
|
FS±10%以内
|
报警方式
|
报警灯闪烁,蜂鸣器断续鸣叫
|
使用环境
|
0°C
|
电源
|
5
|
使用时间
|
连续12小时以上(使用碱性干电池无报警、20℃时) |
外形尺寸
|
W762×H150×D128㎜(除去突起物)
|
重量
|
约1.3kg
|
标配附件
|
肩背皮带、5号碱性干电池4节、过滤片2张
|
对象气体一览表 | ||||||||
型号 |
气体 |
F.S |
型号 |
气体 |
F.S |
型号 |
气体 |
F.S |
XDS-7NH |
NH3 |
100ppm |
XDS-7GH |
GeH4 |
1ppm |
XDS-7HS |
H2S |
50ppm |
XDS-7SH |
SiH4 |
25ppm |
XDS-7CL |
CL2 |
5ppm |
XDS-7CO |
CO |
250ppm |
XDS-7DC |
SiH2CL2 |
25ppm |
XDS-7CF |
CLF3 |
1ppm |
XDS-7DS |
Si2H6 |
25ppm |
XDS-7AH |
AsH3 |
250ppb |
XDS-7HC |
HCL |
25ppm |
XDS-7F2 |
F2 |
5ppm |
XDS-7PH |
PH3 |
1ppm |
XDS-7HF |
HF |
10ppm |
XDS-7OZ |
O3 |
1ppm |
XDS-7BH |
B2H6 |
500ppb |
XDS-7HB |
HBr |
10ppm |
|||
XDS-7SE |
H2Se |
250ppb |
XDS-7NO |
NO |
100ppm |