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产品分类
产品信息
产品特点
- 只要更换传感器单元就可以检测对象气体
- 用盒式传感器单元无需进行检测器校正
- 大幅度削减成本和维护时间
技术参数
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型号
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XPS-7
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对象气体
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半导体材料气体
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检测原理
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定电位电解式 |
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取样方式
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自动吸引式
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测量范围
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根据规格 |
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分辨率
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满量程的百分之一 |
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指示精度
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FS±10%以内
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报警方式
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报警灯闪烁，蜂鸣器断续鸣叫
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使用环境
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0°C
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电源
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5
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使用时间
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连续12小时以上（使用碱性干电池无报警、20℃时） |
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外形尺寸
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W762×H150×D128㎜(除去突起物)
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重量
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约1.3kg
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标配附件
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肩背皮带、5号碱性干电池4节、过滤片2张
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| 对象气体一览表 | ||||||||
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型号 |
气体 |
F.S |
型号 |
气体 |
F.S |
型号 |
气体 |
F.S |
|
XDS-7NH |
NH3 |
100ppm |
XDS-7GH |
GeH4 |
1ppm |
XDS-7HS |
H2S |
50ppm |
|
XDS-7SH |
SiH4 |
25ppm |
XDS-7CL |
CL2 |
5ppm |
XDS-7CO |
CO |
250ppm |
|
XDS-7DC |
SiH2CL2 |
25ppm |
XDS-7CF |
CLF3 |
1ppm |
XDS-7DS |
Si2H6 |
25ppm |
|
XDS-7AH |
AsH3 |
250ppb |
XDS-7HC |
HCL |
25ppm |
XDS-7F2 |
F2 |
5ppm |
|
XDS-7PH |
PH3 |
1ppm |
XDS-7HF |
HF |
10ppm |
XDS-7OZ |
O3 |
1ppm |
|
XDS-7BH |
B2H6 |
500ppb |
XDS-7HB |
HBr |
10ppm |
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|
XDS-7SE |
H2Se |
250ppb |
XDS-7NO |
NO |
100ppm |
|||